一般用語集
用語集
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り
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り
リソグラフィー【lithography】
項目
リソグラフィー【lithography】
意味
(1)石版印刷。リトグラフ。(2)半導体製造の際,微細な回路パターンを基板表面に光を照射し転写する技術の総称。