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電気用語集

電気用語集

ファンフィルタユニット 

項目 ファンフィルタユニット  / ふぁんふぃるたゆにっと 
英語 fan filter unit 
意味 送風機とフィルタが一体として組み立てられた装置。一般に高性能フィルタと組み合わせ、クリーンルームの天井に設置される装置を呼ぶ。局所的な清浄度の向上や、大形クリーンルームの階高減少、動力減少を目的に採用される。